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仪器名称 |
冷场扫描电子显微镜（SEM） |
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仪器类别 |
显微成像分析平台 |
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生产厂家 |
日立 |
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规格型号 |
Regulus 8230 |
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启用日期 |
2020-9-5 |
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仪器说明 |
性能参数：分辨率：0.6nm@15KV，0.7nm@1KV 加速电压：最低0.5KV，最高30KV，步进0.1KV 着陆电压：0.01KV - 20KV （减速模式） 放大倍数：最小20倍，最大200万倍（底片模式） 工作距离：最小1.5mm，最大30mm 电位移：12um（WD = 8mm） 样品台：5轴自动马达驱动，配有φ150mm样品交换仓 样品倾斜角度：-5 - +70° 样品最大尺寸：150mm直径 配套设备： 离子溅射仪（Hitachi, MC1000）、能谱仪（Bruker, Quantax200 XFlash 6|100）、减震台（韩国大一，DVIA-M1000） |