仪器照片 |
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仪器名称 |
白光干涉仪 |
仪器类别 |
光谱分析检测平台 |
生产厂家 |
BRUKER |
规格型号 |
ContourGT-K |
启用日期 |
2021.8 |
仪器说明 |
性能参数:垂直分辨率:≤0.1 nm RMS重现性:≤0.01 nm 反射率范围:0.05% ~100% 设备采用白光干涉原理成像,集成VSI、PSI、VXI测量模式,同时系统可进行微观及宏观形貌测量,并且具有多区域分析功能,可以自动根据样品高度和颜色对表面的特征区域进行分析,获得包括尺寸、角度、斜率、面积、体积和位置等多种参数。 |